อากาศอัดแห้ง (CDA) ทำหน้าที่เป็นแหล่งพลังงานพื้นฐานที่หล่อเลี้ยงกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ การถ่ายภาพด้วยแสงและการกัด การบรรจุภัณฑ์และการทดสอบ รวมถึงการผลิต PCB ตลอดห่วงโซ่อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด ในฐานะอุปกรณ์หลักสำหรับการจ่ายอากาศ เครื่องอัดอากาศส่งผลโดยตรงต่ออัตราผลผลิตของชิปและเสถียรภาพของสายการผลิต อุตสาหกรรมกำหนดให้ใช้เครื่องอัดอากาศปราศจากน้ำมันที่สอดคล้องกับมาตรฐาน ISO 8573-1 Class 0

ในการเตรียมเวเฟอร์ เครื่องอัดอากาศปราศจากน้ำมันจะจ่ายกระแสลมที่สะอาดเป็นพิเศษเพื่อเป่าฝุ่นระดับต่ำกว่าไมครอนออกหลังจากการตัดแท่งซิลิคอนและการขัดผิวเวเฟอร์ แม้แต่ละอองน้ำมันในปริมาณเล็กน้อยก็สามารถก่อตัวเป็นฟิล์มฉนวนบนเวเฟอร์ซิลิคอนและก่อให้เกิดความล้มเหลวของวงจรในขั้นตอนถัดไป ดังนั้นปริมาณน้ำมันรวมในอากาศจ่ายต้องควบคุมให้ต่ำกว่า 0.01mg/m³ การถ่ายภาพด้วยแสง การกัด และการเคลือบฟิล์มบางเป็นกระบวนการผลิตหลัก เครื่องอัดอากาศขับเคลื่อนกระบอกสูบความแม่นยำและวาล์วนิวแมติกของห้องกระบวนการในเครื่องถ่ายภาพด้วยแสง แรงดันอากาศที่เสถียรช่วยให้แท่นวางเวเฟอร์สามารถจัดตำแหน่งได้ในระดับนาโนเมตร โดยจำกัดความผันผวนของแรงดันให้อยู่ภายใน ±0.05 bar เพื่อป้องกันการคลาดเคลื่อนของรูปแบบวงจร ในขณะเดียวกัน อากาศอัดที่มีจุดน้ำค้างต่ำ (≤ -40℃) จะปกป้องเลนส์ออปติคัลและหลีกเลี่ยงการลดทอนพลังงานเลเซอร์ที่เกิดจากความชื้นควบแน่น

ในโรงงานบรรจุภัณฑ์และการทดสอบ เครื่องอัดอากาศจ่ายพลังงานให้กับเครื่องติดได เครื่องเชื่อมลวด และอุปกรณ์คัดแยกอัตโนมัติ อากาศความบริสุทธิ์สูงจะเป่าสิ่งเจือปนบนแผ่นรองเชื่อมออกเพื่อหลีกเลี่ยงจุดบัดกรีเย็นและการลัดวงจร ระหว่างการทดสอบการเผาไหม้ชิป กระแสลมสะอาดที่สม่ำเสมอช่วยรับประกันข้อมูลการทดสอบทางไฟฟ้าที่แม่นยำ สำหรับการผลิต PCB และ SMT อากาศอัดสนับสนุนการดูดจับของเครื่องวางชิ้นส่วน การทำความสะอาดแผงวงจร และการกำจัดสิ่งตกค้างในเตารีโฟลว์ อากาศปราศจากน้ำมันช่วยป้องกันการเกิดออกซิเดชันและการปนเปื้อนของชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์

สายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทำงานตลอด 24 ชั่วโมง 7 วัน เครื่องอัดอากาศแบบสกรูและแบบแรงเหวี่ยงปราศจากน้ำมันให้เอาต์พุตอากาศที่มีการสั่นสะเทือนต่ำและเสถียรด้วยระบบปรับความถี่ อุปกรณ์ที่ติดตั้งตัวกรองความแม่นยำหลายขั้นตอนและชุดทำแห้งเชิงลึกสามารถควบคุมสารปนเปื้อนหลักสามประเภท ได้แก่ น้ำมัน น้ำ และอนุภาค เมื่อเทียบกับเครื่องอัดอากาศอุตสาหกรรมทั่วไป รุ่นพิเศษสำหรับระดับเซมิคอนดักเตอร์สามารถกำจัดมลพิษจากสารหล่อลื่นตั้งแต่ต้นทางและลดความเสี่ยงในการทิ้งเวเฟอร์ลงอย่างมาก ในฐานะอุปกรณ์เสริมความแม่นยำที่ขาดไม่ได้สำหรับโรงงานผลิตที่ใช้กระบวนการขั้นสูง อุปกรณ์เหล่านี้เป็นรากฐานที่มั่นคงของระบบจ่ายอากาศเพื่อการผลิตชิปจำนวนมากที่มีเสถียรภาพและการปรับปรุงคุณภาพ